Le semi-conducteur a pompé la machine UV 355nm refroidi par air de règlage de laser

Machine de règlage de laser pour le capteur

1.Summary

La machine de règlage de résistance de laser de Wuhan Questt ASIA Technology Co., Ltd. est particulièrement développée et produite pour l'industrie de circuit de couche épaisse et de circuit de la couche mince. L'ébarbage de source (ajustement de résistance) et le règlage actif (ajustement de fonction de circuit) sont principalement employés pour le règlage à haute précision d'en couche mince, épais-film, circuits intégrés hybrides et divers modules électroniques, impliquant les industries suivantes :

l l'électronique lAutomotive

l lSensors

l l'électronique de lCommunication

l industrie lMilitary est dans la recherche scientifique

l lMedical

l l'électronique lIndustrial

l lAerospace

La résistance de laser équilibrant des machines produites par notre société sont indépendamment développées à partir du système de système de contrôle de mesure de noyau et logiciel, etc., et ont tous les droits de propriété intellectuelle indépendants, qui peuvent fournir à des clients les solutions complètes d'application de règlage de résistance de laser.

2. modèle et représentation d'équipement

La machine de règlage de résistance de laser de la série LT7 est un type à extrémité élevé machine de configuration de règlage de résistance de laser lancée par Wuhan Questt. Les produits de la série LT7 adoptent le laser spécial avancé pour le règlage de résistance de laser.

Haute précision de l'ajustement de résistance

• La machine entière a l'exactitude de haute résistance d'ajustement, et l'exactitude d'ajustement de résistance est cohérente et le rendement est haut.
• lLT7 utilise un laser spécial pour le règlage de résistance de laser, qui fournit à un à rayon laser la qualité et la ligne largeur extrêmement fine de poutre élevée, et l'effet de chaleur de laser est petit.
• mode de contrôle de précision de lUnique, technologie minière de vitesse variable de propriété industrielle.
• variété de La de fonctions de coupure de type couteau de résistance-ajustement.

Ajustement rapide de résistance

• Le logiciel a la fonction de l'arrangement de réglage approché et d'ajustement précis, qui peut placer les relations proportionnelles entre le réglage approché et l'ajustement précis selon les caractéristiques de la résistance, qui améliore effectivement la vitesse d'ajustement de résistance sous les lieux d'assurer l'exactitude.
• temps de mesure de lHigh-vitesse, le seul temps de mesure est seulement 25us.
• mécanisme d'étape-et-répétition de lHigh-précision : utilisant une plate-forme de moteur linéaire, la vitesse et l'accélération mobiles sont rapides ; elle peut réaliser l'ajustement de résistance d'un-cycle des circuits à unités multiples.
• ascenseur de panneau de sonde de lHigh-vitesse : améliorez effectivement l'efficacité de traitement en cours d'ajustement cyclique de résistance des circuits à unités multiples.

Fonction forte

• lWith la fonction puissante de la programmation de 3tude dans l'industrie, il peut s'adapter au divers ajustement de résistance et à l'ajustement de fonction des modules électroniques, et réalise facilement les besoins spéciaux des clients et de l'opération automatique élevée.
• l'addition de lIn à la mesure de base de résistance et de tension, avec les modules spéciaux externes, le signal de mesure peut être actuelle, fréquence, inversion et d'autres signaux.
• l contrôle automatique selon les programmes de la puissance de laser, du mouvement, de la gamme de mesure, etc. peut être réalisé.
• axe des z de lProbe, mouvement automatique de contrôle de moteur d'axe des z de foyer de laser, programmable.
• la fonction de base de données lPowerful, le processus de fabrication entier est enregistrée et décelable.
• la fonction de avertissement de lThe des produits non qualifiés peut effectivement empêcher les produits non qualifiés de couler dans le prochain processus.
• des coordonnées de positionnement de lThe sont obtenues en temps réel par l'image, qui est facile à utiliser et améliore l'exactitude de positionnement du produit.

Fiabilité et stabilité élevées

• Les composants de noyau sont importés pour assurer la qualité
• piédestal spécial lUsing de granit : Il peut effectivement réduire la vibration à inertie provoquée par le début, l'arrêt et l'accélération de l'établi ; en même temps, il peut maintenir la stabilité de la température de la machine.

Bas opération et coûts de maintenance

• Rendement élevé, consommation basse d'énergie et économie

L'efficacité de conversion électro-optique de laser atteint 25%, et la puissance quotidienne de moyenne est moins de 10 degrés, qui est 1/10 de la lampe flash traditionnelle ont pompé le laser à état solide. L'utilisation à long terme peut sauver des utilisateurs beaucoup de dépense énergétique, réduire l'émission de carbone, longue durée de vie, écurie de haute performance et exempt d'entretien, réduisant le temps d'arrêt.

3. solution de trimmer de laser

• Le principe du règlage de résistance de laser

Le principe du règlage de résistance de laser est d'employer très très bien un à rayon laser pour frapper les résistances à couche mince épaisses et, et réalise la coupe des circuits de la couche épaisse et mince en vaporisant le corps de résistance. Les coupes à rayon laser les résistances à couche mince épaisses et selon le programme ont prédéterminé par l'ordinateur, et changent la valeur de résistance des résistances en changeant les formes géométriques des résistances à couche mince épaisses et. Pendant que le processus de coupe de laser progresse, le circuit en temps réel de mesure surveille les variations des valeurs de résistance des résistances à couche mince épaisses et en temps réel, et les valeurs de résistance des résistances à couche mince épaisses et approchent constamment la valeur de résistance de cible. C'est-à-dire, le processus de règlage de résistance de laser est réalisé.

Quand la résistance de couche épaisse est utilisée dans le module électronique, la modification de fonction du module électronique peut être réalisée en ajustant le changement de résistance de sorte que le signal de sortie des changements électroniques de module aussi.

Le règlage de résistance de laser change la section transversale conductrice et la longueur conductrice du corps de résistance, et peut équilibrer le corps de résistance au-dessous de la valeur de résistance de cible à la gamme exigée d'exactitude.

Dessin d'ensemble d'équipement (sujet à l'objet réel)

système de (1).Laser

Utilisé pour couper les résistances à couche mince épaisses et, c'est « un couteau léger » pour la coupe de résistance. Cette machine adopte le laser spécial avancé pour l'ajustement de résistance de laser, avec la bonne qualité de poutre, la puissance de crête élevée et l'excellente qualité d'incision. Petit et compact, à refroidissement par air, avec le rendement élevé et la fiabilité pas a trouvé dans d'autres lasers. Tous la source de pompe de dispositif de noyau, le commutateur en cristal, de Q, etc. sont importés.

Laser spécial pour le règlage de résistance de laser

(2). Système de positionnement à rayon laser

Il est employé pour réaliser le positionnement de l'à rayon laser et du contrôle de la voie de mouvement (coupant le chemin). Adoptez le système de galvanomètre à précision. Commande la position de la poutre dans les directions de X et de Y. Raccourcissez le temps de positionnement de poutre et ébarbage du temps, de l'efficacité élevée de travail, de la grande vitesse et de la haute précision.

Galvo de précision

système de positionnement d'image de (3).CCD

Système de représentation avec la lentille et le CCD consacrés. La technologie de l'image coaxiale de laser est employée pour s'assurer que le point de cible de laser et le point de cible de représentation sont recouverts dans la marge de balayage de laser.

Le logiciel importé de reconnaissance d'image est employé pour réaliser l'image automatique plaçant par l'assortiment d'image.

plate-forme mécanique de mouvement de (4).Step-and-repeat

Le système importé de moteur linéaire de précision est adopté, et la règle discordante est en circuit fermé commandée. La précision de mouvement est haute et la vitesse est rapidement, qui améliore considérablement l'accélération de mouvement. Elle peut réaliser le chargement commode et le déchargement, et l'ajustement cyclique ultra-rapide de résistance des circuits à unités multiples, qui améliore considérablement l'efficacité de production. Comporte la précision à grande vitesse et haute.

système de (5).measuring

La mesure de résistance adopte la méthode de système à quatre fils plus la mesure actuelle et la mesure de tension. Elle a des sources actuelles constantes à haute précision multiples, et la gamme correspondante de chaque résistance peut être automatiquement assortie pour obtenir la meilleure exactitude de mesure. La mesure de résistance emploie généralement les sondes spéciales de sondes suivantes pour le conseil que la soudure sont employées pour la mesure. Le système de mesure peut être automatiquement calibré par un conseil externe de résistance standard. Interface facultative de GPIB pour le contrôle externe ou la mesure d'instrument.

L'ajustement électronique de fonction de module fournit généralement des méthodes spéciales de mesure de sonde pour des caractéristiques de produit.

système de focalisation de (6).Laser

La longueur focale de laser est directement commandée par l'ordinateur. En plaçant la longueur focale au zéro absolu et en entrant l'épaisseur de l'objet, le foyer peut être automatiquement réalisé. Cette fonction peut réaliser l'ajustement de résistance de différents types de produits de résistance de couche épaisse, qui améliore la gamme d'application et l'efficacité de la machine d'ajustement de résistance de laser.

mouvement de (7).Probe

Le mouvement de la sonde est commandé par un moteur ultra-rapide, la distance courante peut être placée arbitrairement, et la fonction de commande de programmation peut être réalisée.

système de (8).Software

· Logiciel d'application puissant basé sur la plate-forme de WINDOWS.

·Avec la fonction puissante de la programmation de 3tude dans l'industrie, il peut s'adapter au divers ajustement de résistance et à l'ajustement de fonction des modules électroniques, et réalise facilement les besoins spéciaux des clients et de l'opération automatique élevée.

·La fonction de base de données puissante, le processus de fabrication entier est enregistrée et décelable.

·Le logiciel des produits non qualifiés change la couleur et accentue la fonction rapide, qui peut effectivement empêcher les produits non qualifiés de couler dans le prochain processus.

·Les coordonnées de positionnement sont obtenues en temps réel par l'image, qui est facile à utiliser et améliore l'exactitude de positionnement du produit.

·La plate-forme multifonctionnelle de mesure peut être réalisée par la programmation, et elle a la fonction de la mesure et du tri de résistance.

configuration 4.Main d'un à un dispositif

4. paramètre technique

système 1.Laser

• longueur d'onde de lLaser : 1064nm
• puissance de laser de lAverage : 6W@10KHZ (TEM00)
• taille de tache lTypical : 30-40µm
• mode de lFocus : contrôle de programme informatique

2. système de positionnement à rayon laser

• gamme de balayage de lLaser : 60mm x 60mm
• lRepeat plaçant l'exactitude : 2.5µm
• le lLaser rayonnent la résolution de mouvement : 1µm
• vitesse de balayage de lMaximum : 7000mm/s
• méthode lPositioning : positionnement programmable ou positionnement automatique de reconnaissance d'image

3. Système de surveillance d'image

• méthode lMonitoring : surveillance coaxiale de laser
• technologie lProprietary : technologie achromatique, laser et chevauchement de représentation dans le format
• champ visuel lMonitoring : 4-6mm (diagonale)
• source lLighting : Éclairage de LED

4. système de mesure

• méthode de mesure de lResistance : ajoutez actuel pour mesurer la tension

Système à quatre fils, contrôle de programme informatique à deux fils de système

• mode de mesure de lResistance : arrangement de mode de trois-vitesse, contrôle programmable
• gamme de mesure de lResistance : 0.1Ω-100MΩ (résolution 16bit)
• exactitude de mesure de lResistance :

0.1Ω< Rx="">

100Ω< Rx="">

100KΩ< Rx="">

• l vitesse de mesure de résistance : 25µs
• résolution de tension de LDC : 0.16µV (dans condition 10mV complète)
• panneau de lProbe : 48PIN, n'importe quelle définition, compatible avec ESI a importé l'équipement
• mouvement de panneau de lProbe : contrôle de programme informatique
• gamme de mesure de lVoltage : résolution de ±100mV~ ±10V 16bit (d'autres gammes sont facultatives)

5. Ordinateurs et systèmes logiciels

• le lSoftware programmable, peut avec souplesse réaliser l'opération automatique, rencontrer l'ajustement de résistance et l'ajustement de fonction de circuit
• la fonction de lDatabase, toutes les données d'ajustement de résistance peut être écrite à la base de données pour le stockage, avec la bonne traçabilité
• la résistance de lThe peut être commandée par le contrôle d'un seul morceau manuel, et elle peut également être automatiquement ajustée par la matrice continue (traitement continu de puce)
• l'ajustement de résistance de lAccurate peut être effectué en plaçant la méthode d'ajustement de résistance de point de laser
• lAccording à la différence de la valeur initiale de résistance, différents paramètres d'ajustement de résistance peuvent être choisis pour effectuer l'ajustement de résistance

6. système mécanique de mouvement d'Étape-et-répétition

• mode de lMovement : système de mouvement de moteur linéaire
• gamme de lMotion : 300mm*300mm
• taille en céramique de substrat de lMaximum : 150mm*150mm
• résolution de lMotion : 1µm
• exactitude de lRepeat : ±1µm
• exactitude lPositioning : ±10µm
• vitesse de lMaximum : 1000mm/s (aucune charge)
• accélération de lMotion : 1.5G

7. D'autres indicateurs techniques

• méthode lCooling : refroidissement à l'air
• tension d'alimentation de lPower : pression atmosphérique à C.A. 220V : <0>